Оптимизация параметров зондоформирующей системы ядерного сканирующего микрозонда на базе электростатического ускорителя «Сокол»

摘要

Рассмотрены принципы оптимизации геометрических и физических параметров зондоформирующей системы ядерного микрозонда. Критерием оптимальности системы была выбрана величина тока пучка, который может быть сфокусирован в пятно на мишени заданных размеров. Результаты оптимизационных расчетов сравнивались с экспериментальными данными, полученными за счет детектирования вторичной электронной эмиссии при сканировании пучком калиброванной медной сетки.