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【2h】

Influence of block copolymer feature size on reactive ion etching pattern transfer into silicon

机译：嵌段共聚物特征尺寸对硅反应离子蚀刻图案转移的影响

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M Dialameh; F Ferrarese Lupi; D Imbraguglio; F Zanenga; A Lamperti; D Martella; G Seguini; M Perego; A M Rossi; N De Leo; L Boarino;
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年度 2017
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1. Influence of block copolymer feature size on reactive ion etching pattern transfer into silicon [J] . Dialameh M., Lupi F. Ferrarese, Imbraguglio D., Nanotechnology . 2017,第40期

机译：嵌段共聚物特征尺寸对硅反应离子蚀刻图案转移的影响
2. Poly(2-vinylnaphthalene)-block-poly(acrylic acid) Block Copolymer: Self-Assembled Pattern Formation, Alignment, and Transfer into Silicon via Plasma Etching [J] . Xin Zhang, Christopher J. Metting Robert M. Briber, Christopher J. Metting Robert M. Briber Macromolecular Chemistry and Physics . 2011,第16期

机译：聚（2-乙烯基萘）-嵌段-聚（丙烯酸）嵌段共聚物：自组装图案形成，排列和通过等离子蚀刻转移到硅中
3. Poly(2-vinylnaphthalene)-block-poly(acrylic acid) block copolymer: Self-assembled pattern formation, alignment, and transfer into silicon via plasma etching [J] . Zhang X., Metting C.J., Briber R.M., Macromolecular chemistry and physics . 2011,第16期

机译：聚（2-乙烯基萘）-嵌段-聚（丙烯酸）嵌段共聚物：自组装图形的形成，排列和通过等离子蚀刻转移到硅中
4. Pattern Transfer of 23-Nm-Diameter Block Copolymer Self-Assembled Nanodots Using CF4 Etching with Carbon Hard Mask (CHM) as Mask [C] . Miftakhul Huda, Jing Liu, Zulfakri bin Mohamad, NAEE2012 . 2013

机译：使用CF4蚀刻用碳硬掩模（CHM）作为掩模使用CF4蚀刻的23nm-径块共聚物自组装纳米块的图案转移
5. Polyisobutylene/polystyrene-based triblock and pentablock copolymers synthesized using a combination of quasiliving carbocationic polymerization and atom transfer radical polymerization. [D] . Scheuer, Adam Daniel. 2004

机译：聚异丁烯/聚苯乙烯基三嵌段和五嵌段共聚物是通过准碳阳离子聚合和原子转移自由基聚合的组合而合成的。
6. Surface Attachment of Gold Nanoparticles Guided by Block Copolymer Micellar Films and Its Application in Silicon Etching [O] . Mingjie Wei, Yong Wang 2015

机译：嵌段共聚物胶束膜引导金纳米粒子的表面附着及其在硅刻蚀中的应用
7. Differences in self‐assembly features of thermoresponsive anionic triblock copolymers synthesized via one‐pot or two‐pot by atom transfer radical polymerization [O] . Vahid F. Motlaq, Leva Momtazi, Kaizheng Zhu, 2019

机译：通过原子传递自由基聚合通过单罐或两锅合成的热反应性阴离子三嵌段共聚物的自组装特征的差异

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