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【2h】

Towards micro-assembly of hybrid MOEMS components on a reconfigurable silicon free-space micro-optical bench

机译：在可重新配置的硅自由空间微光学台上朝着混合熔母组分的微组件

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S Bargiel; K Rabenorosoa; C Clévy; C Gorecki; P Lutz;
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年度 2010
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Towards micro-assembly of hybrid MOEMS components on a reconfigurable silicon free-space micro-optical bench

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