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【2h】

Control of plasma properties in capacitively coupled oxygen discharges via the electrical asymmetry effect

机译：通过电不对称效应控制电容耦合氧气排放中的等离子体特性

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E Schüngel; Q-Z Zhang; S Iwashita; J Schulze; L-J Hou; Y-N Wang; U Czarnetzki;
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年度 2011
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