机译:通过等离子体增强化学气相沉积法沉积的非晶碳化硅薄膜(a-SiC:H)作为恶劣环境应用中的保护涂层
机译:化学气相沉积工艺条件对MEMS应用的碳化硅薄膜的影响
机译:碳化硅纤维增强碳化硅(SiC / SiC)在燃气轮机组件中的应用
机译:碳化硅(SiC)增强对激光沉积Ai-Sn-SiC / Ti-6A-4V复合涂层微观结构和力学性能的影响
机译:低压碳化硅(SIC)半导体器件用于电力转换应用的实验研究
机译:高温功率电子器件用碳化硅转换器和MEMS器件的评论
机译:用于MEMS应用的碳化硅膜片的激光微加工和测试