A capacitive RF power sensor based on MEMS technology

机译：一种基于MEMS技术的电容式RF功率传感器

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作者
L J Fernández; R J Wiegerink; J Flokstra; J Sesé; H V Jansen; M Elwenspoek;
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年度 2006
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1. A capacitive RF power sensor based on MEMS technology [J] . Fernandez LJ, Wiegerink RJ, Flokstra J, Journal of Micromechanics and Microengineering . 2006,第7期

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2. Third-Order Intermodulation of an MEMS Clamped-Clamped Beam Capacitive Power Sensor Based on GaAs Technology [J] . Han Juzheng, Liao Xiaoping Sensors Journal, IEEE . 2015,第7期

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