首页> 外文OA文献 >Non-Collocated Displacement Sensing by Semiconductor Strain Gauges in Differentially Piezo-Driven Nanopositioners

【2h】

Non-Collocated Displacement Sensing by Semiconductor Strain Gauges in Differentially Piezo-Driven Nanopositioners

机译：差分压电驱动纳米沉积仪中半导体应变计的非分配位移感应

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
Ali Bazaei; Mokrane Boudaoud; Massoud Hemmasian Ettefagh; Zhiyong Chen; Stephane Regnier;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2021
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Displacement Sensing With Silicon Flexures in MEMS Nanopositioners [J] . Bazaei A., Maroufi M., Mohammadi A., Journal of Microelectromechanical Systems . 2014,第3期

机译：MEMS纳米定位器中的硅挠性位移检测
2. Displacement amplification and differential actuation in piezo driven nanopositioners [J] . Ali Bazaei, Massoud Hemmasian Ettefagh, Zhiyong Chen Mechanical systems and signal processing . 2021,第Apra期

机译：压电驱动纳米定位器中的位移放大和差动致动
3. High-Precision Control of a Piezo-Driven Nanopositioner Using Fuzzy Logic Controllers ? [J] . Mohammed Altaher, Sumeet S. Aphale Computers . 2018,第1期

机译：使用模糊逻辑控制器对压电驱动纳米定位器进行高精度控制
4. In-Situ Semiconductor Position Sensor for Differentially Piezo-Driven Nanopositioners [C] . Ali Bazaei, Mokrane Boudaoud, Massoud Hemmasian Ettefagh, IEEE Sensors . 2019

机译：用于差异压电驱动的纳米定位器的原位半导体位置传感器
5. Temperature-Compensated Strain Gauges Using Metal-Semiconductor Nanocomposites [D] . Ricci, Matthew T. 2021

机译：使用金属半导体纳米复合材料的温度补偿应变仪
6. A Low-Cost Strain Gauge Displacement Sensor Fabricated via Shadow Mask Printing [O] . Ying Yi, Bo Wang, Amine Bermak 2019

机译：通过荫罩印刷制造的低成本应变计位移传感器
7. High-precision Control of a Piezo-driven Nanopositioner Using Fuzzy Logic Controllers [O] . Altaher, Mohammed, Aphale, Sumeet Sunil 2018

机译：使用模糊逻辑控制器的压电驱动纳米定位器的高精度控制

Non-Collocated Displacement Sensing by Semiconductor Strain Gauges in Differentially Piezo-Driven Nanopositioners

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅