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Nonlinear Model Identification and Control of a Rapid Thermal Processing System for Semiconductor Manufacturing

机译：半导体制造快速热处理系统的非线性模型识别与控制

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作者
Caizhong TIAN; Takao FUJII;
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年度 2001
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2. Identification and nonlinear control for rapid thermal processor [J] . Huang CJ., Shen SH., Yu CC. Journal of the Chinese Institute of Chemical Engineers . 2000,第6期

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4. Nonlinear System Identification and Control of Rapid Thermal Processing Using the Wiener model [C] . Caizhong Tian, Takao Fujii Proceedings of the 3rd Asian control conference : Abstract index . 2000

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