Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке

摘要

Приведены данные о влиянии стерильности вакуумной плавильной камеры на содержание фоновых и легирующих примесей в монокристаллах кремния, полученных способом электронно-лучевой бестигельной зонной плавки.