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Methodology of laser processing for precise control of surface micro-topology

机译：用于精确控制表面微拓扑的激光加工方法

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M. Ahmed Obeidi; E. McCarthy; D. Brabazon;
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年度 2016
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3. Precise etch-depth control of microlens-integrated intracavity contacted vertical-cavity surface-emitting lasers by in-situ laser reflectometry and reflectivity modeling [J] . Y.M. Song, K.S. Chang, B.H. Na, Thin Solid Films . 2009,第19期

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