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【2h】

Calculation of angular rigidity of elastic element for micromechanical accelerometer

机译：微机械加速度计弹性元件角刚度的计算

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M.E. Kalinkina; A.S. Kozlov; R.Ya. Labkovskaya; O.I. Pirozhnikova; V.L. Tkalich;
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年度 2019
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