Нанокристаллические алмазные CDV-пленки: структура, свойства и перспективы применения

摘要

Представлен обзор литературы, посвященной синтезу нанокристаллических алмазных пленокudметодом газофазного химического осаждения. Обсуждаются основные приемы, которые позволяют ограничивать размер зерен растущих кристаллитов в алмазных пленках. К ним можноudотнести предварительную обработку поверхности подложки, изменение состава рабочего газаudи подачу потенциала смещения на подложку. Рассмотрены особенности структуры и свойствudнанокристаллических алмазных пленок и перспективы их использования в различных областяхudнауки и техники.