Technological studies of the plasmachemical reactor with сlosed electron drift

摘要

Наведено результати технологічних випробувань плазмохімічного реактора (ПХР) з замкнутим дрейфомud електронів, розробленого в ІЯД НАНУ. Досліджена залежність швидкості травлення монокремнію від робочого тиску вud ПХР. Знайдено, що при незмінному потоці подачі робочого газу в реактор і зміні тиску в ПХР від 10⁻³ до 10⁻¹ Торud швидкість травлення зростає від 0,7 до 2,5 мкм/хв на проміжку (6…8)·10⁻² Тор. Далі проходить зменшення швидкостіud травлення монокремнію при інших незмінних параметрах розряду. Показана нелінійна залежність швидкості травленняud від розходу робочого газу SF₆ з тенденцією насичення при подальшому його збільшенні.