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机译:宾厄姆密封和真空夹紧应用
S M Yao; Wee Kin Teo; Zunmin Geng; Sam Turner; Keith Ridgway;
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机译:工件对准和保持系统具有与真空夹紧系统相结合的磁作用夹紧系统,并具有突出在换极板上的柔性密封套
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