机译:旋转(版本3. 83):用于建模一维旋转盘/停滞流动化学气相沉积反应器的FORTRAN程序
机译:一维低压化学气相沉积反应器中氧化硅颗粒形成和传输的数值模拟
机译:使用动力学蒙特卡洛模型和微波等离子体和热丝化学气相沉积反应器的二维模型模拟化学气相沉积金刚石膜的生长
机译:撞击化学气相沉积反应器中氧化锡沉积的计算流体动力学模型
机译:用遗传算法对化学气相沉积反应器沉积轮廓的计算方法,用于使用反应机制自动建模系统
机译:在中等压力下在微波等离子体辅助化学气相沉积反应器中对氢基等离子体进行建模。
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:商业快速热化学气相沉积反应器中外延生长的控制和优化的建模和模型简化