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【2h】

Capacitance-Type Micro Pressure Sensor Using Single-Crystalline Sapphire

机译：电容式微压传感器使用单晶蓝宝石

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作者
Takashi MASUDA; Masaru SOEDA; Kenzo WATANABE;
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年度 2001
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1. Capacitance-type micro pressure sensor using single-crystalline sapphire [J] . Takashi Masuda, Masaru Soeda, Kenzo Watanabe 計測自動制御学会論文集 . 2001,第1期

机译：使用单晶蓝宝石的电容式微压力传感器
2. Capacitance-type micro pressure sensor using single-crystalline sapphire [J] . Takashi Masuda, Masaru Soeda, Kenzo Watanabe 計測自動制御学会論文集 . 2001,第1期

机译：电容式微压传感器使用单晶蓝宝石
3. Interfering light: micromachined silicon carbide-sapphire fiber optic pressure sensor operates in 3,600°F environment [J] . Paul Polishuk Fiber Optic Sensors & Systems . 2002,第1期

机译：干扰光：微加工的碳化硅-蓝宝石光纤压力传感器在3600°F环境下工作
4. Micromachined Pressure Sensor Based on Sapphire for High Temperature Applications [C] . S. Fricke, A. Friedberger, H. Seidel Eurosensor Conference . 2013

机译：基于蓝宝石的微机械压力传感器用于高温应用
5. Micromachined optically interrogated pressure sensor and sensor array. [D] . Zhou, Jie. 2003

机译：微加工的光学询问压力传感器和传感器阵列。
6. Engineered Microstructure Derived Hierarchical Deformation of Flexible Pressure Sensor Induces a Supersensitive Piezoresistive Property in Broad Pressure Range [O] . Gang Li, Duo Chen, Chenglong Li, 2020

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7. Micromachined pressure sensor based on sapphire for high temperature applications [O] . Fricke S., Friedberger A., Seidel H., 2010

机译：基于蓝宝石的微机械压力传感器，用于高温应用
8. Micro-structured Sapphire Fiber Sensors for Simultaneous Measurements of High-t and Dynamic Gas Pressure in Harsh Environments. [R] . Xiao, H., Tsai, H., Dong, J. 2014

机译：微结构蓝宝石光纤传感器，用于在恶劣环境中同时测量高t和动态气压。

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