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【2h】

Plasma Enhanced Atomic Layer-etched and Regrown GaN-on-GaN High Power p-n Diodes

机译：等离子体增强的原子层蚀刻和再生GaN-On-GaN高功率P-N二极管

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Prudhvi Ram Peri; Kevin Hatch; Daniel Messina; Kai Fu; Yuji Zhao; Robert Nemanich; David Smith;
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年度 2020
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