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【2h】

Formation of plasma induced surface damage in silica glass etching for optical waveguides

机译：基于光波导的二氧化硅玻璃蚀刻中的等离子体诱导表面损伤

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D. Y. Choi; J. H. Lee; D. S. Kim; S. T. Jung;
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年度 2004
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