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【2h】

Accurate Control of Surface Characteristics of Glass-like Carbon by Controlled Plasma of SF6-Ar Mixed Gas

机译：通过SF6-AR混合气体控制等离子体精确控制玻璃样碳的表面特征

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作者
Yori Izumi; Hidetoshi Ishihara; Takeo Ohte; Akira Kojima;
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作者单位

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年度 1997
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