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【2h】

Устройства финишной очистки технологических газов на основе нераспыляемых геттеров из сплавов Zr-Al, Zr-Fe, Hf-Fe

机译：基于Zr-Al，Zr-Fe，Hf-Fe合金的非喷雾吸气剂对工艺气体进行最终净化的设备

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Описаны устройства глубокой финишной очистки технологических газов Ar, He, Ne, H₂, N₂. Предложены геттерные материалы, используемые для этих целей. Приведены результаты масс-спектрометрических исследований состава газов по поглощаемым газам.

机译：本发明描述了用于深度精制处理气体Ar，He，Ne，H 2，N 2的装置。提出了用于这些目的的吸气材料。给出了通过吸收气体对气体成分进行质谱研究的结果。

著录项

作者
Ажажа В.М.; Ажажа Р.В.; Вьюгов П.Н.; Свинаренко А.П.; Шулаев В.М.;
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作者单位

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年度 2006
总页数
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正文语种 ru
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