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【2h】

Superior film composition uniformity and adjustable composition for the next generation MO technology

机译：优质薄膜组成均匀性和可调节组合物用于下一代MO技术

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Oliver Rattunde; Martin Dubs; Hartmut Rohrmann; Vito Schlegel; Thomas Eisenhammer;
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年度 2002
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1. Superior film composition uniformity and adjustable composition for the next generation MO technology [J] . Oliver Rattunde, Martin Dubs, Hartmut Rohrmann Transactions of the Magnetics Society of Japan . 2002,第4Suppla期

机译：下一代MO技术具有出众的膜成分均匀性和可调整的成分
2. Effect of source materials on film thickness and compositional uniformity of MOCVD-P(Zr,Ti)O-3 films [J] . Funakubo H, Nagai A, Asano G, Surface & Coatings Technology . 2007,第22a23期

机译：原料对MOCVD-P（Zr，Ti）O-3薄膜厚度和组成均匀性的影响
3. Compositional uniformity in sputter-deposited NiTi shape memory alloy thin films [J] . K.P. Mohanchandra, Ken K. Ho, Greg P. Carman Materials Letters . 2008,第20期

机译：溅射沉积NiTi形状记忆合金薄膜的成分均匀性
4. Adjustment of image decomposition mode and reflection criterion focusing on critical dimension uniformity and exposure dose effectiveness under diffraction effects in optical microlithography using a digital micromirror device [C] . Manseung Seo, Haeryung Kim Optical microlithography XXVI . 2013

机译：使用数字微镜设备在光学微光刻中的衍射效应下，重点关注临界尺寸均匀性和曝光剂量有效性的图像分解模式和反射标准的调整
5. Amorphous Metal Oxide Thin Films from Aqueous Precursors: New Routes to High-kappa Dielectrics, Impact of Annealing Atmosphere Humidity, and Elucidation of Non-Uniform Composition Profiles [D] . Woods, Keenan N. 2017

机译：水性前体的非晶态金属氧化物薄膜：高κ电介质的新途径，大气湿度退火的影响以及不均匀成分分布的阐明
6. Thermoelectric Flexible Silver Selenide Films: Compositional and Length Optimization [O] . Jie Gao, Lei Miao, Huajun Lai, 2020

机译：热电柔性硒化银薄膜：成分和长度优化
7. Preparation of giant unilamellar vesicles from damp lipid film for better lipid compositional uniformity [O] . Baykal-Caglar Eda, Hassan-Zadeh Ebrahim, Saremi Bahar, 2012

机译：从潮湿的脂质膜制备巨大的单层囊泡，以获得更好的脂质组成均匀性

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