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Numerical Study on the Optimization of Roll-to-Roll Ultraviolet Imprint Lithography

机译：轧辊紫外压印光刻优化的数值研究

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Usama Tahir; Muhammad Ahmad Kamran; Myung Yung Jeong;
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年度 2019
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3. Filling angle and its effect on filling process in roll-to-roll ultraviolet imprint lithography [J] . Wang Jianping, Li Mujun, Qiu Jinfeng, Journal of Micromechanics and Microengineering . 2018,第3期

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