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1.1.3 Optical Position Feedback for electrostatically driven MOEMS-Scanners

机译：1.1.3静电驱动的MOEMS扫描仪的光学位置反馈

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A. Tortschanoff; D. Holzmann; M. Baumgart; A. Frank; A. Kenda; T. Sandner; M. Wildenhain;
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年度 2012
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