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4.1.3 - Ungekühlte Mikrobolometer-Arrays mit einer Picelgröße von 12 μm basierend auf einer neuartigen thermischen isolierenden Struktur

机译：4.1.3 - 基于新型隔热结构的小芯片尺寸为12μm的未冷却微生物仪阵列

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K.-M. Muckensturm; D. Weiler; F. Hochschulz; C. Busch; T. Geruschke; S. Wall; J. Heß; R. Lerch; D. Würfel; H. Vogt;
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年度 2016
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