Представлены результаты разработки и некоторые результаты исследования полупроводниковых цифровых интерферометров. Обоснована возможность их применения в наноизмерениях, в частности, при управлении лучом лазера в сверхплотной оптической записи информации, сейсмических измерениях и гравиметрии.
展开▼