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机译:8.5.4基于MEMS的光学氢传感器的制造与表征
Hwan-Gil Hwang; Kang-San Kim; Gwiy-Sang Chung;
机译:基于热膜的基于MEMS的流量传感器的制作与表征
机译:使用ZnO-SnO2复合材料制造和封装基于MEMS的氢传感器平台
机译:基于MEMS基光学氢传感器的制造与表征
机译:用于微流体应用的基于脉冲MEMS的微流量传感器的制造和表征。
机译:具有低横轴耦合干扰的基于MEMS的三维电场传感器的设计制造和表征
机译:用于氢分离和加氢/脱氢反应的基于MEMS的晶圆级钯银合金膜的制备和表征
机译:反射镜中包含光电传感器的基于MEMS的光开关
机译:用于感测压力或温度的基于光纤的半导体微传感器,所述传感器的制造方法以及将光纤固定至硅块的方法
机译:用于传感压力或温度的基于光纤的半导体微传感器,主动传感器的制造方法以及将光纤固定到硅块的方法
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