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P3.4 - Fabrication of Silicon Oxycarbide-Based Microcomponents via Photolithographic and Soft Lithography Approaches

机译：P3.4 - 通过光刻和软光刻方法制造基于氧化硅基微型组合物

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E. Ionescu; S. Martinez Crespiera; M. Schlosser; R. Riedel; K. Flittner; H. F. Schlaak;
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年度 2013
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