Феноменологічний підхід до аналізи радіяційних ефектів при проєктуванні субмікронних структур біполярних ІС

摘要

При взаємодії корпускулярного і електромагнетного випромінення з твердим тілом (структурою ІС) відбувається пересилання енергії останньому, вudрезультаті чого змінюються його властивості. Характер взаємодії і ефекти,udщо при цьому виявляються, в загальному випадку визначаються видом випромінення, його енергією та інтенсивністю, видом структур ІС, які приudцьому опромінюються. Дані радіяційні дослідження можуть лягти в основуudпобудови радіяційно-тривкої технології для формування як біполярних,udтак і польових структур ІС. Детально проаналізовано радіяційні ефекти вudструктурах із субмікронними глибинами залягання p—n-переходів та з ізопланарною діелектричною ізоляцією.