Методика розв’язку обернених задач синтезу і аналізу оптичних шаруватих покриттів із захисною плівкою

摘要

Розглянуто математичну модель задач оптики для шаруватого середовища з неоднорідними шарами. Виконано постановку та проаналізовано розв’язок обернених задач синтезу і аналізу оптики шаруватих середовищ як математичних оптимізаційних задач. Створено програмне забезпечення, яке дозволяє проводити їх розв’язок в рамках даної моделі. Теоретично показано вплив об’ємної неоднорідності вуглецевого шару на фотометричні і еліпсометричні характеристики. Проведено моделювання різнотипних інтерференційних багатошарових покриттів із верхнім алмазоподібним шаром, який одночасно є функціонально активним оптичним шаром і виконує роль захисної плівки.