机译:通过金属和氧化模式磁控溅射在A-Si,SiN和SiO2上生长的ZrO2薄膜的混合和热氧化
机译:金属和氧化模式磁控溅射在a-Si,SiN和SiO_2上生长的ZrO_2薄膜的混合和热氧化
机译:通过溅射金属Zr薄膜的原位热氧化生长的超薄氧化锆薄膜的结构,界面和光学特性
机译:溅射金属Ti薄膜的等离子体氧化生长TiO2的结构和热稳定性
机译:通过RF磁控溅射在纳米结构Al薄层/玻璃基板上生长的氧化锌薄膜
机译:直流反应磁控溅射沉积的新型薄膜透明导电氧化物。
机译:在不加热衬底的情况下通过射频磁控等离子体溅射沉积的铝掺杂氧化锌薄膜的空间分辨光电性能
机译:通过在氧化物膜沉积之前通过热生长的薄SiO2薄膜改善SiO2 / SiC界面的作用
机译:热历史对热生长二氧化硅,siO2超薄膜应力相关特性的影响