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【2h】

Effect of substrate pretreatments on the atomic layer deposited Al2O3 passivation quality

机译：基材预处理对原子层的影响沉积Al2O3钝化质量

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Yameng Bao; Shuo Li; Guillaume von Gastrow; Päivikki Repo; Hele Savin; Matti Putkonen;
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年度 2015
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