首页> 外文OA文献 >C4.4 - Stochastic Modelling to Enable Ultrafast High Resolution Capacitive Position Sensing of a Resonant MEMS Mirror

【2h】

C4.4 - Stochastic Modelling to Enable Ultrafast High Resolution Capacitive Position Sensing of a Resonant MEMS Mirror

机译：C4.4 - 随机模型，使超快高分辨率电容位置感测谐振MEMS镜

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
L.-M. Faller; H. Zangl;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2017
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Capacitive Charge-based Self-Sensing for Resonant Electrostatic MEMS mirrors [J] . Richard Schroedter, Han Woong Yoo, David Brunner, IFAC PapersOnLine . 2020,第2期

机译：基于电容电荷的谐振静电MEMS镜的自感应
2. Design and Characterization of a CMOS MEMS Capacitive Oscillator for Resonant Sensing in Liquids [J] . Chiang Che-Hao, Chou Mu-Chi, Hsieh Ping-Hsuan, Sensors Journal, IEEE . 2016,第5期

机译：用于液体中共振传感的CMOS MEMS电容振荡器的设计与表征
3. A novel triangular-electrode based capacitive sensing method for MEMS resonant devices [J] . Ma Wei, Lin Yiyu, Zheng Xudong, Sensors and Actuators, A. Physical . 2016,第Null期

机译：一种基于三角电极的新型MEMS谐振器件电容传感方法
4. Stochastic Modelling to Enable Ultrafast High Resolution Capacitive Position Sensing of a Resonant MEMS Mirror [C] . Lisa-Marie Faller, Hubert Zangl International Conference on Sensors and Measurement Technology . 2017

机译：随机模型，使超快高分辨率电容位置感测谐振MEMS镜
5. MEMS Resonant Mass Sensing with Enabled Optical Interaction for Cellular Study [D] . Keeler, Ethan Gary. 2018

机译：具有使能光学相互作用对细胞研究的MEMS共振块感应
6. Microfabrication Process-Driven Design FEM Analysis and System Modeling of 3-DoF Drive Mode and 2-DoF Sense Mode Thermally Stable Non-Resonant MEMS Gyroscope [O] . Syed Ali Raza Bukhari, Muhammad Mubasher Saleem, Umar Shahbaz Khan, 2020

机译：微型制造过程驱动的设计有限公司分析和3 DOF驱动模式的系统建模和2-DOF感测模式热稳定的非谐振MEMS陀螺仪
7. CAPACITIVE SENSE FEEDBACK CONTROL FOR MEMS BEAM STEERING MIRRORS [O] . B. Cagdaser, A. Jog, M. Last, 2004

机译：用于MEMS波束转向镜的电容感测反馈控制

C4.4 - Stochastic Modelling to Enable Ultrafast High Resolution Capacitive Position Sensing of a Resonant MEMS Mirror

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅