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【2h】

Thin films-preparation, structure and properties. Initial nucleation of photo-CVD amorphous silicon by photodecomposition of disilane.

机译：薄膜制备，结构和性质。硅烷光分解光谱分解的光谱法初始成核。

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作者
Mitsuo KAWASAKI; Kazunori HAYASHI; Yoshio TSUKIYAMA; Hiroshi HADA;
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年度 1987
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