In-package MEMS-based thermal actuators for micro-assembly

机译：用于微组件的包装内基于MEMS的热致动器

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Mechanical Maritime and Materials Engineering

机译：机械海事和材料工程

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作者
V A Henneken; M Tichem; P M Sarro;
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年度 2006
总页数
原文格式 PDF
正文语种 eng
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1. In-package MEMS-based thermal actuators for micro-assembly [J] . Henneken VA, Tichem M, Sarro PM Journal of Micromechanics and Microengineering . 2006,第6期

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2. In-package MEMS-based thermal actuators for micro-assembly [J] . V. A. Henneken, M. Tichem, P. M. Sarro Journal of Micromechanics and Microengineering . 2006,第6期

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