首页> 外文OA文献 >Modeling and fabrication of piezoelectric Aluminum Nitride resonator and its application in oscillators

【2h】

Modeling and fabrication of piezoelectric Aluminum Nitride resonator and its application in oscillators

机译：压电铝氮化物谐振器的建模与制造及其在振荡器中的应用

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

摘要
著录项
引文网络
相似文献
相关主题

摘要

International audience

机译：国际观众

著录项

作者
O. Mareschal; S. Loiseau; F. Verjus; L. Valbin; G. Lissorgues; R. Bouregba; G. Poullain; S. Saez; C. Dolabdjian;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2009
总页数
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Piezoelectric aluminum nitride resonator for oscillator [J] . Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control, IEEE Transactions on . 2010,第3期

机译：振荡器的压电氮化铝谐振器
2. Pulsed-DC sputtering of molybdenum bottom electrode and piezoelectric aluminum nitride films for bulk acoustic resonator applications [J] . J.S. Cherng, T.Y. Chen, C.M. Lin Thin Solid Films . 2011,第20期

机译：体声谐振器应用的钼底电极和压电氮化铝膜的脉冲直流溅射
3. Design and fabrication of aluminum nitride Lamb wave resonators towards high figure of merit for intermediate frequency filter applications [J] . Liang Ji, Zhang Hongxiang, Zhang Daihua, Journal of Micromechanics and Microengineering . 2015,第3期

机译：面向中频滤波器应用的高品质因数氮化铝兰姆波谐振器的设计与制造
4. MODELING AND FABRICATION OF PIEZOELECTRIC ALUMINUM NITRIDE RESONATOR AND ITS APPLICATION IN OSCILLATORS [C] . O. Mareschal, S. Loiseau, F. Verjus, International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference . 2009

机译：压电铝氮化物谐振器的建模与制造及其在振荡器中的应用
5. Temperature-Compensated and High-Q Piezoelectric Aluminum Nitride Lamb Wave Resonators for Timing and Frequency Control Applications [D] . Lin, Chih-Ming. 2013

机译：用于定时和频率控制应用的温度补偿和高Q压电铝氮化物振荡器谐振器
6. Reactive Sputtering of Aluminum Nitride (002) Thin Films for Piezoelectric Applications: A Review [O] . Abid Iqbal, Faisal Mohd-Yasin 2018

机译：用于压电应用的氮化铝（002）薄膜的反应溅射：综述
7. Piezoelectric Aluminum Nitride Resonator for Oscillator [O] . Mareschal, Olivier, Loiseau, Sebastien, Fougerat, Aurelien, 2010

机译：振荡器的压电氮化铝谐振器

Modeling and fabrication of piezoelectric Aluminum Nitride resonator and its application in oscillators

摘要

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅