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Deep‐UV Lithography of Nanocomposite Thin Films into Magnetooptical Gratings with Submicron Periodicity

机译：纳米复合薄膜的深紫色光刻与亚微米周期性的磁光光栅

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Clémentine Bidaud; Emilie Gamet; Damien Jamon; Loïc Vidal; Sophie Neveu; Olivier Soppera; François Royer; Dominique Berling;
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年度 2020
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