机译:在甲烷-氮气氛中通过RF-PECVD制备的非晶氢化碳氮化物膜
机译:通过rf-PECVD由甲苯和氮气制备非晶态氮化碳膜
机译:使用硅烷和氮气通过VHF-PECVD制备的非晶氮化硅薄膜的光学性质
机译:通过等离子体化学汽相沉积法在氢化非晶碳膜中掺入硼原子提高导电性及其电化学性能
机译:PECVD氢化非晶硅膜和HWCVD氢化非晶硅膜的质子NMR研究。
机译:掺b非晶碳基薄膜:通过低温RF-PEMOCVD制备的光子材料
机译:偏压对电子回旋共振等离子体在CoCrMo合金上制备的氢化非晶碳膜性能的影响增强了化学气相沉积(ECR-PECVD)