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Формирование светоизлучающих и фотодетектирующих в ИК-области тонкослойных структур Ge:Sb/Ge методами ионной имплантации, вакуумного осаждения и импульсного отжига

机译：在薄层结构的IR区域中形成发光和光渗透Ge：Sb / Ge离子注入方法，真空沉积和脉冲退火

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