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机译:用氢离子照射硅晶体的X射线诊断硅晶体微观结构缺陷
В.Е. Асадчиков; И.Г. Дьячкова; Д.А. Золотов; Ю.С. Кривоносов; Ф.Н. Чуховский;
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