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【2h】

5-axis Ultra Precision Nano Machine Tool by Means of Linear Motor Drive

机译：通过线性电机驱动器5轴超精密纳米机床

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作者
Tomohiko KAWAI; Kenzo EBIHARA; Akira YAMAMOTO;
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作者单位

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年度 2006
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机译：五轴直线电机驱动的超精密机床的研制
2. Geometric- and force-induced errors compensation and uncertainty analysis of rotary axis in 5-axis ultra-precision machine tool [J] . Chen Qidi, Maeng Sangjin, Li Wei, The International Journal of Advanced Manufacturing Technology . 2020,第3a4期

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3. 5-axis Control Ultra-precision Machining of Complex-shaped Mirrors for Extreme Ultraviolet Lithography System [J] . H. Takino, T. Kawai, Y. Takeuchi CIRP Annals . 2007,第1期

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5. A Novel Accuracy Analysis Method of Dynamic CNC Machine Tool Motion by Parallel Integration of Nano-Precision Linear Scales [D] . Brown, Michael Benjamin. 2017

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