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Исследование распределения азота в образцах, полученных ионно-стимулированным осаждением пленок Cr на алюминий при бомбардировке ионами азота

机译：铝离子轰击铝过程中离子刺激铬膜沉积在铝上获得的样品中氮的分布研究

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Работа посвящена разработке методов поверхностного упрочнения изделий из алюминиевых сплавовudметодом ионно-стимулированного осаждения пленок Cr-N. Авторами исследовано распределение азотаudв пленках и в алюминиевой подложке. Для исследования привлекались методы вторичной ионной массudспектрометрии, ядерных реакций. Была разработана компьютерная модель, позволяющая адекватноudописывать распространение азота при повышенных температурах в растущей пленке и сопрягающихudслоях подложки. Установлено хорошее соответствие между полученными экспериментальными резульudтатами и данными расчетов

机译：这项工作致力于使用离子刺激的Cr-N膜沉积ud方法开发铝合金产品的表面硬化方法。作者研究了氮离子在薄膜和铝基板中的分布。二次离子质谱法和核反应的方法被用于研究。开发了一种计算机模型，该模型可以充分描述高温下氮在生长膜和基材界面层中的分布。在获得的实验结果和计算数据之间建立了良好的一致性。

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作者
Гончаров А.В.; Гугля А.Г.; Марченко И.Г.; Неклюдов И.М.;
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年度 2003
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