首页> 外文OA文献 >Integral cluster set-up for complex compound composites syntesis
【2h】

Integral cluster set-up for complex compound composites syntesis

机译:用于复杂化合物复合材料合成的整体簇设置

代理获取
本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务,本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文,但由于OA文献来源多样且变更频繁,仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况,如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

摘要

At present study the result of development and investigations of cluster technological set-up for synthesis ofudcomplex compound composites is demonstrated. The present set-up consist of complimentary DC-magnetron system,udRF-inductive plasma source and ion source. The system allows to independently form the fluxes of metal atoms,udchemically active particles, ions and also to synthesize the thin films of complex compound composites, includingudnanocomposites. Various types of high-quality coatings such as Al2O3, AlN, TiO2, TiN, ZrO2 and others with thicknessudup to 10 mkm have been synthesized using the described set-up.
机译:目前的研究结果表明,合成复合复合材料的成簇技术体系的开发和研究成果。目前的设置包括互补的直流磁控管系统, udRF感应等离子体源和离子源。该系统可以独立形成金属原子,化学活性粒子,离子的通量,还可以合成复杂的复合材料薄膜,包括纳米复合材料。使用所描述的装置已经合成了各种类型的高质量涂层,例如Al 2 O 3,AlN,TiO 2,TiN,ZrO 2以及厚度≤10mkm的其他涂层。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号