机译：硅基纳米结构的聚焦离子束高分辨率灰度光刻
机译：通过将电子束和聚焦的金离子束光刻合并用于固体和逆耦合等离子体纳米结构来定制光学功能
机译：等离子体蚀刻通过Ga〜+离子聚焦束形成的掩模形成的硅基纳米结构
机译：真空光刻技术用于使用精细聚焦离子束的纳米结构制造
机译：增强用于纳米结构制造的电子束光刻分辨率的方法。
机译：用光刻法对金属-氧化物外延隧道结进行X射线衍射成像：使用聚焦和未聚焦X射线束
机译：高效闪光光栅的制造与复制灰度电子束光刻和UV纳米压印光刻
机译：聚焦离子束光刻使用meV质子束微探针进行微光学制造
