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【2h】

Surface Microstructuring of Glass Materials by Laser-Induced Backside Wet Etching

机译：激光诱导的背面湿法蚀刻玻璃材料的表面微结构

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作者
Hiroyuki NIINO; Yoshizo KAWAGUCHI; Tadatake SATO; Aiko NARAZAKI;
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年度 2017
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1. Surface Microstructuring of Inclined Trench Structures of Silica Glass by Laser-induced Backside Wet Etching [J] . Hiroyuki Niino, Yoshizo Kawaguchi, Tadatake Sato, Journal of Laser Micro/Nanoengineering . 2008,第3期

机译：激光诱导的背面湿法刻蚀硅玻璃倾斜沟槽结构的表面微观结构
2. Surface microstructuring of silica glass by laser-induced backside wet etching with a DPSS UV laser [J] . Hiroyuki Niino, Yoshizo Kawaguchi, Tadatake Sato, Applied Surface Science . 2007,第19期

机译：使用DPSS UV激光通过激光诱导的背面湿法蚀刻对石英玻璃进行表面微结构化
3. Topography and roughness evolution of microstructured surfaces at laser-induced backside wet etching [J] . R. BOEHME, J. ZAJADACZ, K. ZIMMER, Applied Physics. A, Materials Science & Processing . 2005,第2期

机译：激光诱导的背面湿法刻蚀的微结构表面的形貌和粗糙度演变
4. Surface microstructuring of transparent materials by laser-induced backside wet etching using excimer laser [C] . Hiroyuki Niino, Ximing Ding, Ryozo Kurosaki, Laser Precision Microfabrication . 2003

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6. Deposition of Durable Micro Copper Patterns into Glass by Combining Laser-Induced Backside Wet Etching and Laser-Induced Chemical Liquid Phase Deposition Methods [O] . Jae Min Seo, Kui-Kam Kwon, Ki Young Song, 2020

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7. Surface microstructures of silica glass by laser-induced backside wet etching [O] . Hiroyuki Niino, Yoshizo Kawaguchi, Tadatake Sato, 2015

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