机译:高度保形锡氮化物薄膜的低温原子层沉积,用于储能装置
机译:高度共形的纳米晶氮化钼薄膜通过原子层沉积作为对Cu的扩散阻挡层
机译:高度共形的纳米晶氮化钼薄膜通过原子层沉积作为对Cu的扩散阻挡层
机译:中空阴极等离子体辅助原子层沉积:低温合成III族氮化物晶体薄膜和纳米结构的新途径
机译:通过原子层沉积的三维纳米结构的共形涂层,用于开发先进的能量存储装置和等离子体透明导体
机译:通过低温原子层沉积制备的用于封装有机电致发光器件的氧化铝薄膜的方法
机译:用于小型电化学能量储存装置的原子层沉积沉积的T-NB2O5薄膜的合成