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Hua-Wen Qi; Olivier Rouxel; Rui-Zhong Hu; Xian-Wu Bi; Han-Jie Wen;
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机译:制备硅锗层,包括在由单晶硅制成的具有表面的基板上沉积渐变的硅锗缓冲层,以及在硅锗缓冲层上沉积硅锗层。
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