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Investigation of target erosion profiles sputter-eroded by a low-energy broad ion beam

机译：低能量宽离子梁溅射靶腐蚀型材的研究

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Wjatscheslaw Sakiew; Eileen Klocke; Detlev Ristau;
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年度 2021
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1. Investigation of target erosion profiles sputter-eroded by a low-energy broad ion beam [J] . Wjatscheslaw Sakiew, Eileen Klocke, Detlev Ristau AIP Advances . 2021,第3期

机译：低能量宽离子梁溅射靶腐蚀谱的研究
2. A source of broad homogeneous beams of low-energy (～0.5 keV) gas ions [J] . N. V. Gavrilov, D. R. Emlin, G. V. Radkovskii Instruments and Experimental Techniques . 2000,第2期

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3. SIMS study of depth profiles of delta-doped boron/silicon alternating layers by low-energy ion beams [J] . S. Hayashi, A. Takano, H. Takenaka, Applied Surface Science . 2003,第Jan期

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