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Studi Optimasi Parameter Daya RF untuk Penumbuhan Lapisan Tipis Mikrokristal Silikon dengan Metode Hot Wire Cell PECVD

机译：PECVD热线电池法对微晶硅胶薄层生长的RF功率参数优化研究

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S. Amiruddin; I. Usman; T. Winata;
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年度 2005
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