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机译:通过反应磁控溅射沉积的无定形Mg-Si-O-N薄膜的光学和力学性能
Sharafat Ali; Biplab Paul; Roger Magnusson; Erik Ekström; Camille Pallier; Bo Jonson; Per Eklund; Jens Birch;
机译:RF反应磁控溅射沉积Al2O3超薄膜的光学,形貌和力学性能研究
机译:反应磁控溅射沉积氧氮化钽薄膜的光学和机械性能
机译:膜厚度对反应性DC磁控溅射沉积的Alcrn纳米组合薄膜结构和力学性能的影响。
机译:通过反应溅射沉积的光学模型非化学计量的非晶氧化铝薄膜
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机译:有源直流磁控溅射法制备高性能真空紫外波长范围的光学薄膜
机译:用于沉积用于涂覆玻璃,塑料膜,金属,电子部件和其他基板的薄层的磁控溅射的方法包括首先用磁场冲击磁控管源和/或部分靶材
机译:活性直流磁控溅射法在石英基体上形成与高性能紫外波长区域相对应的氟化物光学薄膜的方法
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