机译:等离子体增强原子层沉积对二氧化铪和二氧化锆的比较沉积电子材料应用
机译:具有原子层沉积生长的二氧化ha和等离子体合成的界面层的锗/金属氧化物栅堆叠的电性能
机译:用原子层沉积在玻璃基板上生长二氧化铪和氧化铝膜的摩擦学研究
机译:通过微电子机械系统应用原子层沉积法保护二氧化ha的涂层
机译:通过等离子体增强的原子层沉积生长二氧化钛薄膜
机译:高k栅极电介质的反应:在ha,锆,钇和镧基电介质以及二氧化ha原子层沉积的原位红外结果方面的研究。
机译:等离子增强原子层沉积法生长的电力电子应用氮化铝过渡层
机译:在砷化铟上的二氧化铪原子层沉积中自清洁和表面化学反应